国产自研高性能MEMS加速度计 EAM1021 系列 (±30~±50g) 产品性能介绍及应用
一、产品简介
EAM1021系列为天羿领航国产自研电容式MEMS加速度计，敏感轴布置于X/Y水平面。产品具备单端、差分双路模拟输出配置，适配-40℃～+85℃宽温工况。零偏稳定性、标度精度、抗交叉耦合等关键指标表现优异，综合测量性能与环境适应能力具备明显优势。
二、产品特点
1、敏感轴布置于X/Y水平面，有效降低Z轴交叉耦合干扰，配套外围电路设计简洁，降低设备集成难度；
2、双模式模拟电压输出，差分输出抗电磁干扰能力强，适配工业长线采集；单端输出电路精简，适配小型轻量化监测终端；
3、外围电路简洁；
4、整体测量精度优异，标度线性、重复性、噪声等指标表现突出，满足高精度动态检测需求；
5、具备高零偏性能，全温区间零点漂移控制优秀，大幅减少后端算法补偿工作量。
三、核心性能指标
产品性能指标 | ||
量程(g) | ±30 | ±50 |
标度因数(mV/g) | 66.7±2% | 40±2% |
标度因数重复性 (ppm) | ≤50 | ≤100 |
标度因数非线性 (%FS) | ≤0.5 | ≤0.6 |
零偏温度系数 (mg/℃) | 2 | 5 |
全温零偏稳定性 (mg) | 0.5 | 0.6 |
全温零偏重复性 (mg) | 0.5 | 1.1 |
噪声谱密度 (ug/√Hz) | ≤115@1kHz | ≤130@1kHz |
交叉耦合 | CASXY<2% / CASXZ<1% | CASXY<4.5% / CASXZ<0.8% |
3dB带宽 (Hz) | 5000 | |
供电电压 (V) | 5 / 3.3 | |
工作电流 (mA) | 3.4 / 1.95 | |
输出形式 | 单端 / 差分 | |
工作温度/储存温度 (℃) | -40~85 / -40~125 | |
外形尺寸（mm） | 6.2×6.2×3.6 | |
四、产品核心优势
1、全链路国产化制造，微结构、读出电路、校准工艺均自主可控，不受海外元器件供货周期、价格波动影响，适配各类设备国产化项目。
2、出厂完成全温域标定，高低温循环环境下零点、标度参数漂移量低，可大幅减少后端算法补偿工作量。
3、单端、差分输出引脚通用兼容，一套硬件设计可同时匹配高端监测设备与低成本传感节点，降低整机开发改版成本。
4、微型体积搭配低功耗运行特性，既可搭载大型惯性测量单元，也可内置无线传感节点、便携检测设备，集成适配范围广。
五、行业适配应用场景
1、 惯性导航领域
作为地面移动机器人、小型无人载体、高端工业航姿测量核心传感单元，采集平面加速度数据，配合陀螺仪完成姿态、位置积分解算，替代进口中量程 MEMS 加速度元件。
2、运动平台稳定控制
用于精密云台、车载主动减振机构、机电执行器闭环反馈，实时采集加速度信号抵消抖动与瞬时冲击，维持设备运行平稳性。
3、工业设备健康监测
部署于风机传动结构、工程机械行走机构，采集运行振动与冲击特征数据，通过时域、频域分析识别轴承磨损、结构松动等早期故障，落地设备预测性维护。
4、运动主动安全反馈控制
特种作业车辆、工业设备安全系统依靠该惯性检测器件捕捉急加速、碰撞冲击信号，联动安全防护机构；同时为运动执行机构提供加速度反馈，提升控制响应精度。
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